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半導(dǎo)體器件工廠用的清潔電纜
日本日立電纜公司研制成半導(dǎo)體器件工廠用的清潔電纜﹐商品名為"outgas cable"。Outgas 的意思是指從各種材料散發(fā)出來的分子污染物。這些污染物分為有機(jī)污染物﹑酸性氣體﹑堿性氣體以及摻雜混合物等。電纜是一個(gè)有機(jī)污染物源。從電纜有機(jī)物中散發(fā)出來的氣體有機(jī)物會(huì)附著在半導(dǎo)體芯片上﹐從而影響氧化膜的絕緣性能。這種污染源﹐對(duì)于清潔度要求極高的半導(dǎo)體器件制造廠來說是相當(dāng)重要的。日立電纜公司研制出的這種環(huán)境友好型PVC電纜材料和電纜產(chǎn)品﹐不含鉛和其它有害金屬﹐引起有關(guān)行業(yè)的關(guān)注。